Сейчас невозможно представить современную электронику без МЭМС-сенсоров: смартфоны, джойстики, планшеты, видеокамеры, бытовая техника это лишь незначительная часть устройств, использующих МЭМС. В то же время существуют приложения, в которых применение таких датчиков оказывается ограниченным. Дело в том, что обычные коммерческие МЭМС отличаются ограниченным температурным диапазоном и чувствительны к жестким ударным нагрузкам. Все это мешает их внедрению в авиационной отрасли, в автотракторной ...