Журнал РАДИОЛОЦМАН, ноябрь 2015 Юрий Петропавловский Одними из первых продуктов компании Analog Devices (ADI), нашедшими широкое применение в автомобильной электронике, были микроэлектромеханические датчики ускорения (МЭМС акселерометры). Работы в этой области проводились в подразделении MEMS Division of Analog Devices в городе Уилмингтоне (штат Массачусетс) в середине 80-годов группой инженеров под руководством доктора Ричарда Пэйна (Richard Payne). Первым серийным МЭМС продуктом компания был ...
Журнал РАДИОЛОЦМАН, декабрь 2015 Юрий Петропавловский Часть 1 В настоящее время МЭМС продукты компании представлены семейством iSENSOR (интеллектуальные датчики) в следующих категориях: акселерометры серии ADXLxxx, гироскопы серии ADXRSxxx, подсистемы акселерометров серии ADIS16xx, подсистемы гироскопов серии ADIS16xx, инерциальные измерительные модули серии ADIS16xxx. Приборы семейства iSENSOR характеризуются высокой степенью интеграции, программным выбором режимов и параметров, низким ...
Журнал РАДИОЛОЦМАН, июнь 2017 Юрий Петропавловский Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой миниатюрные конструкции, объединяющие механические и электронные компоненты и выполненные в едином процессе по полупроводниковым технологическим нормам от 1 мкм до 0.1 мм. Как правило, в МЭМС-устройствах сконцентрировано множество микроустройств самых различных конфигураций. В отличие от большинства микросхем, МЭМС способны взаимодействовать с различными внешними средами и полями. ...