Платформа датчика качества наружного воздуха Модуль датчика газа ZMOD4510 предназначен для мониторинга качества наружного воздуха (OAQ) и измерения наружных газов, таких как озон и оксид азота. Это 12-контактная сборка LGA (3,0 x 3,0 x 0,7 мм), которая состоит из элемента датчика газа и ИС формирования сигнала CMOS. Чувствительный элемент модуля состоит из нагревательного элемента на основе структуры MEMS на основе Si и хеморезистора на основе оксида металла (MOx). Преобразователь сигнала ...